发明名称 BONDING HEAD FOR THERMOCOMPRESSION BONDING
摘要
申请公布号 JPH03289151(A) 申请公布日期 1991.12.19
申请号 JP19900090843 申请日期 1990.04.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIDESE WATARU
分类号 H01L21/603;H01L21/60 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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