发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SPUTTER-TARGETS.
摘要
申请公布号 DE3682493(D1) 申请公布日期 1991.12.19
申请号 DE19863682493 申请日期 1986.12.22
申请人 PLANSEE TIZIT GES.M.B.H., REUTTE, TIROL, AT 发明人 KNY, DR., ERICH, A-6600 PFLACH, AT
分类号 C04B35/58;C04B35/56;C22C1/05;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;C04B38/04 主分类号 C04B35/58
代理机构 代理人
主权项
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