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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH03289125(A) 申请公布日期 1991.12.19
申请号 JP19900090611 申请日期 1990.04.05
申请人 NEC CORP 发明人 HONDA TOSHIYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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