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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03289145(A) 申请公布日期 1991.12.19
申请号 JP19900091708 申请日期 1990.04.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMADA TAKAHIRO
分类号 H01L27/148;H01L21/339;H01L29/762 主分类号 H01L27/148
代理机构 代理人
主权项
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