发明名称
摘要
申请公布号 JPH0379677(B2) 申请公布日期 1991.12.19
申请号 JP19870071390 申请日期 1987.03.27
申请人 KOGYO GIJUTSU INCHO;KOBE SEIKOSHO KK 发明人 TOKUMOTO HIROSHI;BANDO HIROSHI;SUZUKI AKIO;KAWASHIMA SADAO;MIZUGUCHI OSAMU
分类号 G12B5/00;G01Q10/02;G01Q10/04;H01J37/28;H01L41/08;H01L41/09;H02N2/00 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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