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发明名称 ASSEMBLING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 EP0439084(A3) 申请公布日期 1991.12.18
申请号 EP19910100649 申请日期 1991.01.21
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NAKAGAWA, KAORU, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;TATUMI, YOSHIAKI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;HASEGAWA, TAIJI C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;NAKAGIRI, MINORU, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.
分类号 H01L21/50;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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