发明名称 SUBSTRATE CONVEYOR
摘要
申请公布号 JPH03287766(A) 申请公布日期 1991.12.18
申请号 JP19900087530 申请日期 1990.04.03
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 SUZUKI TETSUYA;UCHIDA SATOSHI;MURATA MASAYOSHI;HAMAMOTO KAZUTOSHI
分类号 C04B35/48;B01J3/02;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/54 主分类号 C04B35/48
代理机构 代理人
主权项
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