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经营范围
发明名称
SUBSTRATE CONVEYOR
摘要
申请公布号
JPH03287766(A)
申请公布日期
1991.12.18
申请号
JP19900087530
申请日期
1990.04.03
申请人
MITSUBISHI HEAVY IND LTD
发明人
SUZUKI TETSUYA;UCHIDA SATOSHI;MURATA MASAYOSHI;HAMAMOTO KAZUTOSHI
分类号
C04B35/48;B01J3/02;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/54
主分类号
C04B35/48
代理机构
代理人
主权项
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