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发明名称 SEPARATING EQUIPMENT OF MOLDED OBJECT
摘要
申请公布号 JPH03288453(A) 申请公布日期 1991.12.18
申请号 JP19900088218 申请日期 1990.04.04
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 AIBA TAKUMI;OGIWARA SAKAE;OKAMOTO KAZUAKI
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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