| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM WITH LARGE AREA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03287760(A) |
申请公布日期 |
1991.12.18 |
| 申请号 |
JP19900087756 |
申请日期 |
1990.04.02 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NAGAISHI RYUKI;ITOZAKI HIDEO;NAKANISHI SHUSUKE |
| 分类号 |
C04B41/87;C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/28 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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