| 发明名称 |
SINGLE WAFER PROCESSING ATMOSPHERIC CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03287772(A) |
申请公布日期 |
1991.12.18 |
| 申请号 |
JP19900090598 |
申请日期 |
1990.04.05 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
KOMATSU NOBUHISA |
| 分类号 |
C30B25/12;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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