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经营范围
发明名称
WAFER BOAT
摘要
申请公布号
JPH03288427(A)
申请公布日期
1991.12.18
申请号
JP19900089757
申请日期
1990.04.04
申请人
TOSHIBA CERAMICS CO LTD
发明人
NISHIO KATSUTOSHI
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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