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发明名称 SPUTTER DEVICE
摘要
申请公布号 EP0205874(B1) 申请公布日期 1991.12.18
申请号 EP19860106446 申请日期 1986.05.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CUOMO, JEROME JOHN;KAUFMAN, HAROLD RICHARD;ROSSNAGEL, STEPHEN MARK
分类号 C23F4/00;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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