发明名称 VAPORIZER FOR CVD MATERIAL TO PRODUCE OXIDE SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03287768(A) 申请公布日期 1991.12.18
申请号 JP19900088461 申请日期 1990.04.03
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 YAMAGUCHI TAICHI;AOKI SHINYA;KAGAWA AKIRA
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C23C16/44;C23C16/448;H01B12/06;H01B13/00 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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