差压变送器

摘要

本发明给出了一种能进行适当的静压补偿的差压变送器。该差压变送器包括有一个半导体传感器基片和一个半导体传感器基片牢固地装置在其上的固定用底座，其特征在于利用传感器基片和底座的杨氏弹性模量之差来检测流体的差压，对传感器基片的一侧或两侧进行处理以形成一比其环绕着它的部位更薄的部位，从而使由静压荷载所产生的峰值应力出现在这一较薄部位中，并检测形成在这一较薄薄部位处的压阻型力敏电阻的阻抗变化。

主权项

1.一种差压变送器，包括：一个传感器基片；一个用于装置该传感器基片的底座；一个差压传感器，形成在传感器基片的一部分上；一个静压传感器，形成在传感器基片的另一部分上；其特征为在传感器基片上位于差压传感器和静压传感器之间形成的第二凹槽减少了两传感器之间的相互干扰。