发明名称 METHOD OF MAKING SILICON NITRIDE PRECURSOR
摘要
申请公布号 EP0242188(B1) 申请公布日期 1991.12.18
申请号 EP19870303289 申请日期 1987.04.14
申请人 FORD MOTOR COMPANY LIMITED;FORD FRANCE SOCIETE ANONYME;FORD-WERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 CROSBIE, GARY MARK;PREDMESKY, RONALD LEONARD
分类号 C01B21/068;C01B21/082;C01B21/087 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
地址