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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF WAFERS
摘要
申请公布号
JPH03288425(A)
申请公布日期
1991.12.18
申请号
JP19900089212
申请日期
1990.04.05
申请人
TOSHIBA CORP;TOUSHIBA MAIKURO EREKUTORONIKUSU KK
发明人
WASHITSUKA SHOICHI;FUKUOKA HIROYUKI
分类号
H01L21/205;H01L21/304
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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