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发明名称
REFLECTION TYPE OPTICAL DISPLACEMENT DETECTOR
摘要
申请公布号
JPH03287015(A)
申请公布日期
1991.12.17
申请号
JP19900089386
申请日期
1990.04.04
申请人
MITSUTOYO CORP
发明人
TOIKAWA NORIHITO;ISHIBASHI WATARU
分类号
G01D5/30
主分类号
G01D5/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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