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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03286524(A) 申请公布日期 1991.12.17
申请号 JP19900087495 申请日期 1990.04.03
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 NOGAMI TAKESHI;MATSUKAWA NAOKI;OAMI MASAHITO;TAKAHASHI SHINGO
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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