发明名称 FORMATION OF ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH03286526(A) 申请公布日期 1991.12.17
申请号 JP19900088040 申请日期 1990.04.02
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 OKADA HIROYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L29/45 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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