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发明名称 PRODUCTION OF OXIDE SUPERCONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03285804(A) 申请公布日期 1991.12.17
申请号 JP19900081117 申请日期 1990.03.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIZUKA YOSHIKI
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
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