发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03286562(A) 申请公布日期 1991.12.17
申请号 JP19900087358 申请日期 1990.04.03
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KATO TAKAO
分类号 H01L21/8247;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/115;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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