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发明名称 MANUFACTURE OF THIN CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH03286520(A) 申请公布日期 1991.12.17
申请号 JP19900087979 申请日期 1990.04.02
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YAZAKI MASATOSHI
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/20;H01L21/263 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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