| 发明名称 |
ALKALINE BATH FOR SEMICONDUCTOR MATERIALS ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CS8906929(A2) |
申请公布日期 |
1991.12.17 |
| 申请号 |
CS19890006929 |
申请日期 |
1989.12.07 |
| 申请人 |
TESLA ROZNOV A. S.,CS |
发明人 |
SALAMON MILAN ING.,CS;PASKOVA EVA RNDR.,CS |
| 分类号 |
C03C15/00;C09K13/02;C23F1/32;C30B33/10;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C03C15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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