发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03284843(A) 申请公布日期 1991.12.16
申请号 JP19900086578 申请日期 1990.03.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OBATA TATSUYA
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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