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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH03284843(A)
申请公布日期
1991.12.16
申请号
JP19900086578
申请日期
1990.03.30
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
OBATA TATSUYA
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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