发明名称 |
METHOD OF SINGLE-CRYSTALLIZATION OF SEMICONDUCTOR FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH03284832(A) |
申请公布日期 |
1991.12.16 |
申请号 |
JP19900085997 |
申请日期 |
1990.03.30 |
申请人 |
KYOCERA CORP |
发明人 |
YAMAGUCHI NORITOSHI;TANAKA KIYONARI;NITTA YOSHITERU;TOMITA KENJI |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|