发明名称 FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR CRYSTALLIZED FILM
摘要
申请公布号 JPH03284829(A) 申请公布日期 1991.12.16
申请号 JP19900085984 申请日期 1990.03.30
申请人 KYOCERA CORP 发明人 YAMAGUCHI NORITOSHI;TANAKA KIYONARI;NITTA YOSHITERU;TOMITA KENJI
分类号 H01L21/20;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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