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经营范围
发明名称
DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03285087(A)
申请公布日期
1991.12.16
申请号
JP19900086489
申请日期
1990.03.30
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KAWAZU YOSHIYUKI;JINBO HIDEYUKI;OTA TSUNEAKI;YAMASHITA YOSHIO
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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