发明名称 MANUFACTURE OF TANTALUM OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03284846(A) 申请公布日期 1991.12.16
申请号 JP19900086531 申请日期 1990.03.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIBUYA MUNEHIRO;KITAGAWA MASATOSHI;KAMATA TAKESHI;HAYASHI SHIGENORI;HIRAO TAKASHI
分类号 H01L27/04;H01L21/316;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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