| 发明名称 |
ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910010099(B1) |
申请公布日期 |
1991.12.16 |
| 申请号 |
KR19890007580 |
申请日期 |
1989.06.02 |
| 申请人 |
NTT CORP.;EATERN CORP. |
发明人 |
DORI YAUHIRO;SHIMADA MASARU;WATANABE IWAO;HIPPLE JAMES E.;DIONNE GERALD L. |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/16 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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