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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03283531(A) 申请公布日期 1991.12.13
申请号 JP19900083544 申请日期 1990.03.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUGIURA RISA;SHIGENAKA KEITARO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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