发明名称
摘要
申请公布号 JPH03122531(U) 申请公布日期 1991.12.13
申请号 JP19900030497U 申请日期 1990.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
地址