| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03283616(A) |
申请公布日期 |
1991.12.13 |
| 申请号 |
JP19900085293 |
申请日期 |
1990.03.30 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HIROTA TAKATOSHI;IIZUKA KATSUHIKO |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/331;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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