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经营范围
发明名称
FORMATION OF SILICON SINGLE CRYSTALLINE FILM
摘要
申请公布号
JPH03283610(A)
申请公布日期
1991.12.13
申请号
JP19900084474
申请日期
1990.03.30
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
ARAKAWA TOMIYUKI;FUKUDA HISASHI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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