发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03283431(A) 申请公布日期 1991.12.13
申请号 JP19900083255 申请日期 1990.03.29
申请人 CLARION CO LTD 发明人 TOKURA KENJI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
地址