发明名称 METHOD FOR CONTROLLING VACUUM EVACUATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03281722(A) 申请公布日期 1991.12.12
申请号 JP19900078771 申请日期 1990.03.29
申请人 NISSHIN STEEL CO LTD 发明人 YASUI KIYOSHI;KITAGI HIROSHI
分类号 C21C7/10;C22B9/04;G05D16/00 主分类号 C21C7/10
代理机构 代理人
主权项
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