发明名称 ELECTRODEPOSITION POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH03281671(A) 申请公布日期 1991.12.12
申请号 JP19900080828 申请日期 1990.03.30
申请人 MITSUBISHI PETROCHEM CO LTD 发明人 NAKANO YOSHITOMO;HIMORI SHUNICHI;KADA MASUMI
分类号 G03F7/039;C09D5/44;H05K3/00 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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