发明名称 PROCESS FOR THE SELECTIVE GROWTH OF GAAS
摘要
申请公布号 AU618100(B2) 申请公布日期 1991.12.12
申请号 AU19890036251 申请日期 1989.06.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HEINZ PETER MEIER;WILLIE WALTER;EDWARD A. VAN GIESON
分类号 H01L21/203;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/223;H01S5/227;H01S5/32;(IPC1-7):C30B23/04;H01S3/06;C30B29/42;H01S3/19 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
地址