发明名称 |
PROCESS FOR THE SELECTIVE GROWTH OF GAAS |
摘要 |
|
申请公布号 |
AU618100(B2) |
申请公布日期 |
1991.12.12 |
申请号 |
AU19890036251 |
申请日期 |
1989.06.09 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
HEINZ PETER MEIER;WILLIE WALTER;EDWARD A. VAN GIESON |
分类号 |
H01L21/203;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/223;H01S5/227;H01S5/32;(IPC1-7):C30B23/04;H01S3/06;C30B29/42;H01S3/19 |
主分类号 |
H01L21/203 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|