| 发明名称 |
TESTING SYSTEM FOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03282274(A) |
申请公布日期 |
1991.12.12 |
| 申请号 |
JP19900081090 |
申请日期 |
1990.03.30 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMAGUCHI KIYOSHI;OKAYASU MASAHARU;MANBA HIROSHI |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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