发明名称 OPTICAL THICKNESS SENSOR
摘要
申请公布号 JPH03282206(A) 申请公布日期 1991.12.12
申请号 JP19900080645 申请日期 1990.03.30
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 TOMAKI KENJI;TAGUCHI TOSHIYUKI
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
地址