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发明名称 MAGNET CHUCK-TYPE SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 JPH03281772(A) 申请公布日期 1991.12.12
申请号 JP19900082604 申请日期 1990.03.29
申请人 NEC CORP 发明人 ITO MASAKI
分类号 C23C14/04;C23C14/50 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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