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发明名称
SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH03280580(A)
申请公布日期
1991.12.11
申请号
JP19900082439
申请日期
1990.03.29
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
YONEDA KENJI
分类号
H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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