发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03279882(A) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 JP19900082304 申请日期 1990.03.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO HIROAKI
分类号 G01R31/28;G01R31/30;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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