发明名称 PATTERN FORMING METHOD USING LIFT-OFF METHOD
摘要
申请公布号 JPH03280542(A) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 JP19900081804 申请日期 1990.03.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO HIROSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/027 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址