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发明名称 IMPROVED MAGNETRON SPUTTERING CATHODE
摘要
申请公布号 EP0442939(A4) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 EP19890912816 申请日期 1989.11.14
申请人 VAC-TEC SYSTEMS, INC 发明人 WELTY, RICHARD, P.
分类号 C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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