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经营范围
发明名称
BEAM DIA MEASURING DEVICE FOR CHARGED PARTICLE RAYS
摘要
申请公布号
JPH03280340(A)
申请公布日期
1991.12.11
申请号
JP19900079618
申请日期
1990.03.28
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NOGUCHI HIROSHI
分类号
H01J37/04
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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