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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03280442(A) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 JP19900082497 申请日期 1990.03.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAKAMI HAJIME;ANJO ICHIRO;ARITA JUNICHI
分类号 H01L21/60;H01L23/29;H01L23/31 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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