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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03280549(A) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 JP19900082694 申请日期 1990.03.29
申请人 NEC CORP 发明人 KOKUBU KUNIO
分类号 H01L29/73;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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