发明名称 POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0440238(A3) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 EP19910101307 申请日期 1991.01.31
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 UENISHI, KAZUYA;SAKAGUCHI, SHINJI;KOKUBO, TADAYOSHI
分类号 G03F7/023;C07C309/76;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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