| 发明名称 |
PARTICLE REMOVAL FROM SURFACES BY PRESSURE CHANGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0428983(A3) |
申请公布日期 |
1991.12.11 |
| 申请号 |
EP19900121717 |
申请日期 |
1990.11.13 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LIU, BENJAMIN Y.H.;AHN, KANG HO |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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