发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03280443(A) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 JP19900078674 申请日期 1990.03.29
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NAKAMURA MITSUTOSHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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